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TEM金屬薄膜樣品的制備方法

發布日期:2012-07-23 瀏覽數:1708

(1)用線切割機將樣品切割成0.5~1mm薄片。


(2)用水砂紙由粗到細(一般最細到1000#砂紙)將試樣的兩面磨光、磨薄,厚度50μm左右。此步驟也可用化學方法減薄。


(3)用沖孔機等將薄片剪成φ3mm的小圓片,剪掉并磨平圓片邊緣的毛邊。


(4)用雙噴電解拋光儀將樣品減薄并穿孔。


  為防止樣品氧化,電解也要冷卻至-20℃左右。電解液、電流、電壓根據試樣的具體情況選定。最佳狀態制成的薄膜樣品表面平滑、光亮。


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